微導納米以原子層沉積(ALD)技術為核心，主要從事先進微、納米級薄膜沉積設備的研發(fā)、生產和銷售，向下游客戶提供先進薄膜沉積設備、配套產品及服務。
財務數(shù)據顯示，公司2018年、2019年、2020年、2021年前9月營收分別為4,191.06萬元、2.16億元、3.13億元、2.31億元;同期對應的凈利潤分別為-2,827.47萬元、5,455.11萬元、5,701.44萬元、2,055.48萬元。
在科創(chuàng)板首輪問詢中，上交所主要關注微導納米科創(chuàng)屬性、主要產品、市場地位、產銷及存貨情況、銷售和主要客戶、收入、采購和供應商、期間費用、應收票據及應收款項、委托經營及解除情況等16個問題。
關于科創(chuàng)屬性，上交所要求發(fā)行人說明：(1)發(fā)行人主要產品與我國最新產業(yè)政策文件重點支持產 品的匹配情況及收入占比;(2)發(fā)行人核心技術在生產與服務中的具體應用， 結合委托先導智能加工裝配的情況及直接材料成本占比，說明發(fā)行人核心生產 工序與非核心生產工序的劃分，發(fā)行人進行組裝、檢測和調試的技術難度，區(qū) 分應用領域說明發(fā)行人技術先進性與技術壁壘的具體體現(xiàn);(3)發(fā)行人針對 TOPCon 電池和 HJT 電池薄膜沉積的技術研發(fā)及產品銷售情況，結合技術指標 對比，說明發(fā)行人相關產品是否具有技術競爭優(yōu)勢;(4)前述三大技術路線在 光伏領域的市場份額占比情況與技術難度差異，各技術路線的發(fā)展趨勢及相互 轉換的難度，ALD 技術能否應用于新型電池技術路線，結合三類技術的優(yōu)劣勢、 下游技術路線變化情況、客戶需求、設備成本，說明光伏領域 ALD 技術是否存在被取代的風險。
微導納米回復稱，公司報告期內主營業(yè)務收入中除零星的備品備件外，專用設備及設備改造業(yè)務均應用了公司的核心技術，均屬于我國產業(yè)政策文件重點支持產品。
2018-2021 年，公司相關業(yè)務收入分別為3,898.03萬元、20,194.69萬元、30,141.22萬元、42,301.11萬元，占營業(yè)收入比重分別為 93.01%、93.57%、96.44%、98.85%。其中 2021年度屬于光伏領域產業(yè)政策支持的業(yè)務收入為39,781.11萬元，占營業(yè)收入比例為 92.96%，屬于半導體領域產業(yè)政策支持的業(yè)務收入為 2,520.00萬元，占營業(yè)收入比例為 5.89%。
公司產品生產涉及的核心工序包括工藝設計、產品設計、系統(tǒng)集成、設備功能檢測、廠內工藝調試、現(xiàn)場安裝與調試等步驟。公司早期與先導智能合作的業(yè)務實質為外協(xié)采購，主要系滿足公司當時業(yè)務發(fā)展階段和業(yè)務體系下的生產需要，涉及的工序環(huán)節(jié)包括元器件采購、組裝的部分工序，均為公司產品的非核心工序。公司直接材料成本占比較高，與公司生產組織模式具有相關性，與同行業(yè)可比公司基本相當。
ALD 技術因其獨特的優(yōu)勢，展現(xiàn)出良好的應用前景，但其產業(yè)化過程中需要在提高沉積速率、連續(xù)化生產、提高鍍膜質量、降低成本等方面進行技術突破，從而提升設備綜合性能和競爭力。公司通過精確計算、流體力場仿真工作等方式，獨立研發(fā)了噴淋板、雙腔體熱壁反應器配合高速反應氣體切換、反應源輸送等設計方案，并結合有效能量控制，不斷對工藝進行優(yōu)化，實現(xiàn)了ALD設備在生產性能和薄膜質量等方面的技術領先優(yōu)勢。公司的 ALD 設備已在市場中得到了主流客戶的認可，并取得良好的市場口碑。
在光伏領域，公司在保證薄膜質量的前提下，實現(xiàn)了超大裝載量和超高產能的ALD設備批量化應用，并不斷開發(fā)新型技術用于新型高效電池生產。
在半導體領域，公司產品實現(xiàn)了高質量薄膜的沉積，解決了先進制程中薄膜沉積均勻性、金屬污染及顆粒污染等工藝難題，滿足了先進器件產品生產要求。設備的鍍膜質量、產能水平、穩(wěn)定運行能力等方面均達到國際同行業(yè)水平。
公司所擁有的技術均為自主研發(fā)，具備創(chuàng)新性及先進性，具備較高的技術壁壘。
從技術原理來看，PVD、CVD、ALD 在新型高效電池中都有應用空間，其中PVD應用環(huán)節(jié)相對單一，CVD和ALD可能的應用環(huán)節(jié)較多。
效率上限決定了何種電池技術路徑有更長遠的利潤釋放，是電池技術路徑升級的判斷標準，而成本決定了短期何種電池技術可以最早實現(xiàn)量產。目前下一代高效電池技術中，從客戶需求、投資成本角度來看，TOPCon 電池在產業(yè)化過程中已獲得先發(fā)優(yōu)勢。ALD(包括 TALD 和 PEALD)應用于 TOPCon 的Al2O3 鈍化層、隧穿氧化層驗證情況較好，且在其他類型電池中應用前景廣泛。
綜合來看，光伏領域 ALD 技術不存在被取代的風險。
目前公司在下一代高效光伏電池的技術研發(fā)主要圍繞TOPCon電池展開，主要是從下游產線成熟度角度出發(fā)。公司的 ALD 技術可用于 TOPCon 電池隧穿層和鈍化層的沉積，并且還一并研發(fā)了用于 TOPCon 電池減反層、多晶硅層的PECVD 技術，以更好的為下游電池廠商提供薄膜沉積的整體解決方案，目前相關設備已向客戶發(fā)貨，處于產業(yè)化驗證中。除此之外，公司在其他新型高效電池技術方面的技術儲備、設備試制、協(xié)同客戶推動產業(yè)化落地工作也在同步開展。
下游技術路線處于多種技術并行狀態(tài)，雖然公司的 ALD 技術已在 TOPCon電池應用中展現(xiàn)出一定的優(yōu)勢，但如果未來其他電池技術路線的產線投資和運營成本顯著下降，而公司的 ALD技術、CVD技術未能在該電池技術路線的應用上形成有效突破，則會對公司在未來在光伏領域的發(fā)展造成不利的影響。因此，公司在招股說明書“重大事項”中就技術迭代及新產品開發(fā)風險披露如下：
“公司所生產的薄膜沉積設備屬于技術密集型產品，產品技術含量和附加值高。隨著技術和應用領域的不斷發(fā)展，下游客戶對薄膜沉積設備工藝路線、材料類型、技術指標等要求也不斷變化，因此會對產品提出新的要求。公司只有不斷緊跟行業(yè)技術發(fā)展趨勢、及時研發(fā)可滿足行業(yè)技術要求的產品，方能在競爭中保持優(yōu)勢地位。
如果公司未能準確理解下游客戶的產線設備及工藝技術演進需求，或者技術創(chuàng)新產品不能契合客戶需求，如無法持續(xù)提供滿足 PERC 電池降本增效的產品、無法適應未來新型高效電池(TOPCon、HJT 等)或半導體制造工藝制程繼續(xù)提高等新的應用需求，可能導致公司設備無法滿足下游生產制造商的需要，從而可能對公司的經營業(yè)績造成不利影響。”(陳蒙蒙)
