近日，東方晶源首臺(tái)8英寸關(guān)鍵尺寸量測(cè)裝備(CD-SEM)出機(jī)國(guó)內(nèi)知名集成電路制造和整體方案提供商燕東微電子。自2021年6月首臺(tái)12英寸CD-SEM出機(jī)，時(shí)隔短短9個(gè)月，東方晶源在電子束量測(cè)領(lǐng)域再次取得重大進(jìn)展，彰顯出深厚的技術(shù)實(shí)力、豐富的市場(chǎng)化經(jīng)驗(yàn)以及快速的研發(fā)能力。此次出機(jī)，將進(jìn)一步夯實(shí)東方晶源在國(guó)內(nèi)電子束檢測(cè)、量測(cè)市場(chǎng)的領(lǐng)先地位。

東方晶源首臺(tái)8英寸關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備(型號(hào)：SEpA-c300)基于東方晶源12英寸關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備的技術(shù)積累，面向90nm以上技術(shù)節(jié)點(diǎn)的成熟工藝。具有對(duì)標(biāo)12英寸主流設(shè)備的成像分辨率、百微米級(jí)大視場(chǎng)成像能力、多樣化量測(cè)算法，可以滿足客戶對(duì)不同產(chǎn)品線、多種應(yīng)用場(chǎng)景下的量測(cè)需求。進(jìn)駐燕東微電子后，將通過(guò)實(shí)際產(chǎn)線驗(yàn)證，進(jìn)一步提升、完善設(shè)備性能，助力客戶提供更具競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品，提高服務(wù)能力。

近年來(lái)，受下游需求影響，8英寸晶圓代工廠產(chǎn)能持續(xù)緊缺。但由于12英寸已經(jīng)逐漸成為了主流尺寸，半導(dǎo)體設(shè)備廠商也將業(yè)務(wù)重心向12英寸廠傾斜，設(shè)備短缺成為當(dāng)下8英寸廠擴(kuò)產(chǎn)的難點(diǎn)之一。以關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備為例，目前市場(chǎng)上流通的8英寸設(shè)備絕大多數(shù)是二手翻新設(shè)備，具有性能指標(biāo)不高及設(shè)備穩(wěn)定性差等問(wèn)題。東方晶源洞悉到晶圓代工廠這一痛點(diǎn)，充分發(fā)揮在電子束檢測(cè)、量測(cè)領(lǐng)域的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，積極響應(yīng)，快速推出8英寸關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備，成功解決產(chǎn)業(yè)又一難題，對(duì)推動(dòng)我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)穩(wěn)定發(fā)展具有重大意義。

隨著半導(dǎo)體工藝節(jié)點(diǎn)不斷向前推進(jìn)，電子束檢測(cè)的重要性愈加凸顯。東方晶源憑借先發(fā)優(yōu)勢(shì)以及強(qiáng)大的研發(fā)投入，在電子束檢測(cè)、量測(cè)領(lǐng)域積累了雄厚的技術(shù)實(shí)力，成績(jī)斐然。承擔(dān)國(guó)家02重大專項(xiàng)——電子束硅片圖形缺陷檢測(cè)設(shè)備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目并驗(yàn)收通過(guò);首臺(tái)套電子束缺陷檢測(cè)設(shè)備(EBI)已完成產(chǎn)線驗(yàn)證并獲得重復(fù)訂單;加速推出多款關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備并取得多個(gè)訂單。東方晶源在電子束檢測(cè)、量測(cè)領(lǐng)域不斷取得重要產(chǎn)品技術(shù)突破，填補(bǔ)多項(xiàng)國(guó)內(nèi)相關(guān)領(lǐng)域空白。

目前，東方晶源已經(jīng)和國(guó)內(nèi)大部分有市場(chǎng)影響力的晶圓代工企業(yè)建立了合作關(guān)系，得到行業(yè)和客戶的高度認(rèn)可。未來(lái)，東方晶源將繼續(xù)堅(jiān)持以客戶為中心，不斷加強(qiáng)研發(fā)投入，擴(kuò)大在國(guó)內(nèi)電子束檢測(cè)、量測(cè)領(lǐng)域的領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)。同時(shí)，與上下游企業(yè)攜手，共同推動(dòng)我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈實(shí)現(xiàn)全面自主可控，配合國(guó)家實(shí)現(xiàn)在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略布局。

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